Feuille de métal en titane GR5 pour semi-conducteurs
La feuille de titane GR5 est un alliage de titane duplex alpha + bêta avec du titane, de l'aluminium et du vanadium comme composants principaux.
Description
La feuille de titane GR5 a une large gamme d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs en raison de ses excellentes propriétés mécaniques, de sa résistance à la corrosion et de son usinabilité. Ces propriétés font de la feuille de titane rectangulaire GR5 l'un des matériaux clés couramment utilisés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Technologie de production de feuilles d'alliage de titane GR5 à la pointe de l'industrie
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Propriété |
Valeur typique |
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Densité g/cm3(lb/pouces cubes) |
4.42 (0.159) |
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Degré de plage de fusion ± 15 degrés (degré F) |
1649 (3000) |
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Chaleur spécifique J/kg. degré (BTU/lb/degré F) |
560 (0.134) |
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Résistivité électrique volumique ohm.cm (ohm.in) |
170 (67) |
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Conductivité thermique W/mK (BTU/ft.h. degré F) |
7.2 (67) |
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Co-efficacité moyen de dilatation thermique 0-100 degré/degré (0-212 degré F/degré F) |
8.6x10-6 (4.8) |
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Co-efficacité moyen de dilatation thermique 0-300 degré/degré (0-572 degré F/degré F) |
9.2x10-6 (5.1) |
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Degré Beta Transus ± 15 degrés (degré F) |
999 (1830) |
Applications spécifiques de la fine feuille de titane GR5 dans l’industrie des semi-conducteurs :
Cavités de gravure : la feuille de titane GR5 est utilisée pour fabriquer des cavités dans les équipements de gravure au plasma. Ces cavités sont soumises à des températures élevées et à des environnements hautement corrosifs, et la feuille de titane GR5 offre une excellente résistance à la corrosion et une excellente stabilité.
Chambres de réaction : la feuille de titane GR5 est utilisée pour créer des chambres de réaction dans les équipements CVD. Ces chambres sont soumises à des températures élevées et à des gaz chimiques, et la feuille de titane GR5 conserve de bonnes performances dans cet environnement.
Boucliers et composants : les boucliers et autres composants des équipements PVD sont également généralement constitués de feuille de titane GR5 pour protéger l'intérieur de l'équipement de la contamination et des dommages.
Production en usine à grande échelle de feuille de titane industrielle GR5
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